产品详情:主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。产品说明：★优质加热丝：KANTHAL‘APMA-1AFD及HRE…★绝热材料：PMFT2T3…晶体纤维等★绝缘子：高纯刚玉★端口过渡环：氧化铝氧化锆等真空成型。★控温段：3段、5段、9段控温用途：★半导体扩散炉烧结炉等★满足4"-8"圆晶扩散炉"★完整的产品系列★进口替代★先进的材料及制造技术